2）精度性能指标
(1) 重复性
　　在实际相同的条件下，对同一被测量进行连续多次测量时，各测得值之间的一致性称为重复性。
　　所谓实际相同条件下的连续多次测量，是指同一测量程序、同一测量器具、同一测量环境、同一测量地点，在短时间内对同一被测对象进行的重复测量。测量人员的影响应减至最小。
(2)稳定性
　　稳定性是测量仪器保持其测量特性恒定的能力，通常稳定性是相对于时间而言的。
　　漂移是测量仪器的测量特性随时间的缓慢变化，例如线性测量仪器静态响应特性的漂移。
(3) 示值误差
　　测量仪器的示值误差是其示值与被测量的(约定)真值之差。由于真值往往不可获得，所以用较高精度的测得值(实际值)作为约定真值。
　　例如标称尺寸为30mm的量块，其实际尺寸为30.0002mm，则该量块的示值误差为30 – 30.0002=-0.0002mm = -0.2um。
　　例如用百分尺测量轴的直径，仪器示值为29.985 mm，而该轴由立式光学计测得的直径为29.988mm。由于立式光学计的测量精度高于百分尺，因此可以其测得值作为被测轴径的约定真值，则百分尺的示值误差等于29.985mm – 29.988 mm = -0.003 mm = -3μm。
　　显然，在测量仪器不同示值处的示值误差一般是各不相同的。
　　测量器具的精度可用示值极限误差表示，也可用不确定度表示，都是该测量器具示值误差的界限值。
(4) 回程误差
　　在相同条件下，被测量值不变，测量器具行程方向不同时，两示值之差的绝对值。
　　回程误差又称滞后误差或称空回。
　　回程误差是由测量器具中测量系统的间隙、变形和摩擦等原因引起的。为了减少回程误差的影响，应使测量器具的运动部件沿同一方向运动，即所谓“单向测量”。当要求往返或连续测量时，如测量跳动，则应选用回程误差较小的测量器具。
(5) 鉴别力阈
　　鉴别力是测量器具对被测量值微小变化的反应能力，又称灵敏阈或灵敏限。鉴别力阈则是鉴别力的定量表示，它是使测量器具的示值产生可察觉变化的被测量值的最小变化值，即测量仪器对被测量微小变化的不敏感程度，一般与内外部的噪声、摩擦、阻尼、惯性等因素有关。
(6) 测量不确定度
　　测量不确定度是在测量结果中表达被测量值分散性的参数。
　　如前所述，由于测量过程的不完善，测得值对真值总是有所偏离，这种偏离又是不确定的。表达这种不确定程度的量化参数，就称为不确定度。换句话说，不确定度是表达被测量真值所处范围的定量估计。