3）干涉法
　　干涉法是利用光波干涉原理测量表面粗糙度的方法，应用光波干涉将被测表面微观不平度以干涉条纹的弯曲程度表现出来，再对放大了的干涉条纹进行测量，经计算得到参数值。
　　根据干涉法设计制造的仪器称为干涉显微镜（如图11—15）。
　　仪器的测微装置可按定义测出相应的评定参数Rz值，其测量范围为0.03~1μm.

4) 激光反射法
　　激光反射法是近几年出现的一种新的表面粗糙度检测方法。其基本原理是激光束以一定的角度照射到被测表面，除了一部分光被吸收以外，大部分被反射和散射。反射光与散射光的强度及其分布与被照射表面的微观不平度状况有关。通常，反射光较为集中形成明亮的光斑，散射光则分布在光斑周围形成较弱的光带。较为光洁的表面，光斑较强、光带较弱且宽度较小；较为粗糙的表面则光斑较弱，光带较强且宽度较大。
　　激光反射法是一种比较测量的方法，需要用一套与被测表面形状、加工方法、材料相同的标准样块对仪器进行校准。该方法使用简便，可以用于在线测量，使用微型测头可以测量内表面的表面粗糙度。
　　该测量方法的测量范围一般为Ra=0.025~3.2μm。